長城開發科技電子器件凈化工程案例
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
萬級潔凈車間是精密電子制造(如半導體、PCB、電子注塑等)的核心生產環境,其設計和建設需嚴格遵循國際及國家標準,并針對電子行業的特殊需求進行優化。以下是萬級精密電子潔凈車間的建設標準與關鍵控制點,具體就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!
一、核心建設標準
1、潔凈度等級
國際標準(ISO 14644-1):萬級潔凈度對應ISO 7級,要求每立方米空氣中≥0.5μm的微粒數≤352,000個(或每立方英尺≤10,000個),微生物限值需滿足沉降菌≤3CFU/皿(φ90mm培養皿,30分鐘),浮游菌≤100CFU/m3。
動態監測:生產狀態下需持續滿足指標,避免人為、設備帶來的污染。
2、溫濕度控制
溫度:通??刂圃?2±2℃,確保電子元器件的穩定性。
濕度:范圍45%-65%,以減少靜電產生并保護電子元器件。特殊工藝需按需求調整,如高濕度環境需加強防潮措施。
3、壓差梯度
不同潔凈區壓差≥5Pa,確保氣流單向流動,防止污染物倒灌。例如,更衣室與潔凈區需保持負壓,避免外部空氣進入。
4、換氣次數與風速
換氣次數:≥25次/小時,通過高效過濾(HEPA)維持空氣潔凈。
平均風速:0.2-0.5米/秒,確保空氣均勻流動,避免渦流和死角。
5、噪聲與照度
噪聲:≤65dB(A),采用低噪音設備(如變頻風機)和隔音材料。
照度:≥300lx,關鍵區域(如檢驗區)可提升至500-1000lx,確保操作精度。

二、關鍵控制點
1、空氣過濾系統設計
三級過濾:初效(過濾大顆粒)、中效(攔截中小顆粒)、高效(HEPA,過濾≥0.3μm微粒)層層遞進,確??諝鉂崈舳冗_標。
定期維護:每月校準粒子計數器、微生物采樣儀,每6-12個月更換高效過濾器,防止性能衰減。
2、氣流組織優化
單向流(層流):適用于高潔凈度區域(如光刻間),通過垂直或水平氣流“活塞式”推動污染物,塵埃粒子濃度≤100個/L。
非單向流(亂流):適用于中等潔凈度區域,通過頂送側回布局避免渦流,換氣次數≥30次/小時。
3、建筑材料與密封性
墻面與地面:采用不銹鋼板、環氧涂層鋼板或PVC板材,表面光滑、不產塵、易清潔;地面使用環氧樹脂自流平或PVC卷材,具備防靜電性能(表面電阻10?~10?Ω)。
門窗與接縫:氣密式門(自動閉門器、密封條)、雙層中空玻璃窗,邊框與墻體連接處用硅酮密封膠填縫,避免積塵和空氣泄漏。
4、防靜電與靜電控制
設備與材料:使用防靜電地板、工作臺、服裝等,減少靜電對電子元器件的影響。
定期檢測:每季度測試地面和工作臺的表面電阻,確保防靜電性能有效。
5、人員與物料管理
人員規范:進入潔凈區需穿戴潔凈服、鞋套、口罩,通過風淋室(吹淋時間≥30秒),嚴禁攜帶非潔凈物品。
物料控制:設立潔凈區和非潔凈區,物料通過傳遞窗或氣閘室進入,減少外部污染物引入。
6、施工流程與交叉污染控制
分階段施工:土建階段先完成主體結構、防水工程;凈化工程階段按“先上后下、先里后外”原則,先安裝空調風管、電氣管線,再做墻面地面裝修,最后安裝高效過濾器。
臨時隔離:用塑料薄膜密封未完工區域,設置獨立通風系統排出施工粉塵,避免污染相鄰潔凈區。
7、高效過濾器安裝與系統驗證
安裝精度:高效過濾器安裝前檢查邊框密封膠,安裝時與靜壓箱之間用密封墊壓實,并用掃描測試(如粒子計數器)檢測邊框泄漏量,泄漏率需≤0.01%。
性能檢測:按ISO 14644-1標準,在靜態(空室)、動態(運行)條件下檢測各粒徑粒子濃度,確保符合ISO 7級要求。
8、環境監控與應急管理
實時監測:安裝溫濕度傳感器、壓差表、粒子計數器等設備,實時監控關鍵參數。
應急預案:設置氣體滅火系統(如七氟丙烷、IG541),在吊頂內安裝煙霧探測器(響應時間≤10秒);潔凈區每20米設置應急出口,配備緊急照明和疏散指示標志。
萬級精密電子潔凈車間的建設需以潔凈度為核心,圍繞溫濕度、壓差、氣流組織等關鍵參數構建環境控制系統,同時通過嚴格的材料選擇、施工管理和人員規范確保長期穩定性。隨著電子元器件向微型化、高集成度發展,潔凈車間的設計需持續優化,以適應更高標準的生產需求。