百級(jí)芯片凈化車間的FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)施工需嚴(yán)格遵循潔凈室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)規(guī)范，確保車間空氣潔凈度、氣流組織和設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性。以下是FFU施工的主要標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)要求，具體隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

　　一、施工環(huán)境與準(zhǔn)備標(biāo)準(zhǔn)

　　1、施工前環(huán)境要求

　　車間主體結(jié)構(gòu)、墻面、地面及吊頂需完成防塵處理，地面平整且干燥，避免灰塵污染。

　　施工區(qū)域應(yīng)設(shè)置臨時(shí)圍擋，與其他區(qū)域隔離，采用負(fù)壓防塵措施(如臨時(shí)風(fēng)機(jī)過濾裝置)，防止交叉污染。

　　施工人員需穿戴潔凈服、口罩、鞋套，進(jìn)入前通過風(fēng)淋室或除塵通道。

　　2、設(shè)備與材料檢驗(yàn)

　　FFU設(shè)備進(jìn)場(chǎng)時(shí)需檢查外觀無損傷，銘牌參數(shù)(風(fēng)量、風(fēng)壓、功率、過濾效率等)符合設(shè)計(jì)要求，附帶出廠檢測(cè)報(bào)告和合格證書。

　　高效過濾器(HEPA/ULPA)需確認(rèn)過濾效率(百級(jí)車間通常采用 HEPA，過濾效率≥99.97%@0.3μm)，且包裝完好未拆封，避免現(xiàn)場(chǎng)拆箱污染。

　　配套材料(如密封膠、吊掛件、電源線等)需符合潔凈室材質(zhì)要求(耐腐蝕、不產(chǎn)塵)，密封膠需通過揮發(fā)性有機(jī)物(VOC)檢測(cè)。

　　二、安裝工藝標(biāo)準(zhǔn)

　　1、吊頂結(jié)構(gòu)與布局

　　吊頂承重：FFU通常通過吊架固定在吊頂龍骨上，吊頂需滿足承重要求(單個(gè)FFU重量約 50-100kg，需計(jì)算龍骨間距和強(qiáng)度)，吊架材質(zhì)宜為不銹鋼或經(jīng)過防腐處理的金屬，避免生銹產(chǎn)塵。

　　布局規(guī)劃：FFU排列需嚴(yán)格按設(shè)計(jì)圖紙，確保送風(fēng)均勻性。常見布局方式為密排滿布或分區(qū)布置，間距誤差≤2mm，整體平整度誤差≤3mm/m，避免氣流短路。

　　2、FFU 安裝步驟

　　預(yù)組裝：在潔凈區(qū)外完成FFU與高效過濾器的預(yù)裝(如需現(xiàn)場(chǎng)安裝過濾器，需在安裝前對(duì)FFU內(nèi)部進(jìn)行清潔)，確保過濾器與FFU框架密封良好(可通過光照法檢查漏光)。

　　吊裝固定：

　　使用專用吊具將FFU平穩(wěn)吊裝至吊頂下方，調(diào)整水平度(水平偏差≤1mm/m)，通過螺栓或卡扣與龍骨固定，確保無晃動(dòng)。

　　多臺(tái)FFU并列安裝時(shí)，相鄰設(shè)備邊緣對(duì)齊，接縫間隙≤2mm，采用密封膠填充縫隙，防止漏風(fēng)。

　　過濾器安裝：

　　在潔凈環(huán)境下拆除過濾器包裝，輕拿輕放，避免碰撞。

　　將過濾器垂直放入FFU靜壓箱內(nèi)，確保與密封膠條緊密貼合，采用壓緊裝置固定(如彈簧卡扣或螺栓)，安裝后需進(jìn)行泄漏檢測(cè)(如掃描法檢漏，泄漏率≤0.01%)。

　　3、氣流與壓力調(diào)試

　　風(fēng)速測(cè)試：使用風(fēng)速儀在高效過濾器下方 15-30cm 處檢測(cè)，百級(jí)車間平均風(fēng)速需控制在 0.36-0.54m/s(國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO 14644-1 中 Class 5 級(jí)要求)，單點(diǎn)風(fēng)速與平均值偏差≤±20%。

　　氣流流型：采用煙霧發(fā)生器或激光粒子計(jì)數(shù)器觀察氣流流向，確保單向流(垂直或水平)均勻穩(wěn)定，無渦流或逆流，避免污染物滯留。

　　壓差控制：車間與相鄰區(qū)域壓差需符合設(shè)計(jì)要求(通常為 5-10Pa 正壓)，通過調(diào)整FFU風(fēng)量或回風(fēng)閥實(shí)現(xiàn)。

　　三、電氣與控制系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)

　　1、電源與布線

　　FFU電源需獨(dú)立回路，采用阻燃電纜，布線需在吊頂內(nèi)橋架或套管中隱蔽敷設(shè)，避免外露積塵。

　　設(shè)備接地需符合電氣規(guī)范(接地電阻≤4Ω)，防止靜電積聚。

　　2、控制系統(tǒng)

　　支持變頻調(diào)速(通過PLC或DDC控制器)，可根據(jù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的粒子濃度自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)量，節(jié)能運(yùn)行。

　　配備運(yùn)行狀態(tài)指示燈(如電源、故障、風(fēng)速異常)，并接入車間監(jiān)控系統(tǒng)(BMS)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和故障報(bào)警。

　　四、清潔與檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

　　1、安裝后清潔

　　安裝過程中產(chǎn)生的碎屑、油污需及時(shí)用不產(chǎn)塵的清潔工具(如防靜電抹布、真空吸塵器)清理，避免殘留。

　　對(duì)FFU表面和吊頂縫隙進(jìn)行徹底擦拭，必要時(shí)采用去離子水或?qū)Ｓ们鍧崉┫尽?/span>

　　2、性能檢測(cè)

　　塵埃粒子檢測(cè)：按照ISO 14644-1 或 GB/T 25915.3標(biāo)準(zhǔn)，使用激光粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)車間內(nèi)0.5μm和5μm粒子濃度，百級(jí)車間靜態(tài)(空態(tài))下每立方米 0.5μm 粒子數(shù)≤3520 個(gè)，動(dòng)態(tài)(運(yùn)行中)需符合工藝要求。

　　過濾器泄漏檢測(cè)：采用PAO(鄰苯二甲酸二辛酯)氣溶膠掃描法，對(duì)高效過濾器邊框、接縫處進(jìn)行掃描，泄漏率需≤0.01%，超標(biāo)時(shí)需補(bǔ)膠或更換過濾器。

　　噪聲檢測(cè)：FFU正常運(yùn)行時(shí)，車間內(nèi)噪聲≤65dB(A)，符合GB 50073《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》要求。

　　五、行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范

　　國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：

　　ISO 14644-1:2015《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第 1 部分：空氣潔凈度等級(jí)的分類》

　　ISO 14644-4:2001《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第 4 部分：設(shè)計(jì)、建造和啟動(dòng)》

　　國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：

　　GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

　　GB 50591-2010《潔凈室施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》

　　GB/T 16292-16294《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測(cè)試方法》

　　半導(dǎo)體行業(yè)規(guī)范：

　　SEMI S2/S8-0203《半導(dǎo)體制造設(shè)備的安全準(zhǔn)則》

　　GJB 7244-2011《半導(dǎo)體集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

　　六、施工注意事項(xiàng)

　　1、避免在FFU上方進(jìn)行焊接、切割等產(chǎn)塵作業(yè)，如需交叉施工，需對(duì)已安裝設(shè)備進(jìn)行全覆蓋保護(hù)。

　　2、調(diào)試階段需逐步啟動(dòng)FFU，避免同時(shí)啟動(dòng)導(dǎo)致電流沖擊，影響供電系統(tǒng)穩(wěn)定性。

　　3、施工記錄需完整(如設(shè)備型號(hào)、安裝位置、檢測(cè)數(shù)據(jù)等)，作為竣工驗(yàn)收和日后維護(hù)的依據(jù)。

　　通過嚴(yán)格遵循上述標(biāo)準(zhǔn)，可確保百級(jí)芯片凈化車間FFU系統(tǒng)的高效運(yùn)行，滿足半導(dǎo)體芯片制造對(duì)高潔凈度、低振動(dòng)和穩(wěn)定氣流的嚴(yán)苛要求。