現(xiàn)批準《潔凈廠房設計規(guī)范》為國家標準，編號為GB 50073-2013，自2013年9月1日起實施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7條(款)為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。原國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073-2001同時廢止。 
    本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

前言

    本規(guī)范是根據(jù)原建設部《關于印發(fā)<2002-2003年度工程建設國家標準規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標函〔2003〕102號)的要求，由中國電子工程設計院會同有關單位共同對《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073-2001修訂而成。
    本規(guī)范在修訂過程中，修訂組結合我國潔凈廠房設計建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調查研究和測試，認真總結了《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073-2001多年來實施的經(jīng)驗，廣泛征求了全國有關單位的意見，最后經(jīng)審查定稿。
    本規(guī)范共9章和3個附錄，主要內(nèi)容包括：總則、術語、空氣潔凈度等級、總體設計、建筑、空氣凈化、給水排水、工業(yè)管道、電氣等。
    本規(guī)范主要的修訂技術內(nèi)容是：修改了第2章術語;對第3章空氣潔凈度等級的相關內(nèi)容作了修改和補充;修改了第8章，更名為“工業(yè)管道”;修改了部分“強制性條文”為“非強制性條文”。
    本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。
    本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責日常管理，由中國電子工程設計院負責具體技術內(nèi)容的解釋。在本規(guī)范執(zhí)行過程中如有意見或建議，請寄送中國電子工程設計院(地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真：010-68217842)，以便今后修訂時參考。
    本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：
    主編單位：中國電子工程設計院
    參編單位：信息產(chǎn)業(yè)部第十一設計研究院科技工程股份有限公司 中國石油化工集團上海醫(yī)藥工業(yè)設計院 中國建筑科學研究院
    主要起草人：陳霖新 張利群 王唯國 繆德驊 晁陽 趙海 俞渭雄 周春海 秦學禮 譚易和 賀繼行 肖紅梅 樊勖昌 張彥國 黃德明 牛光宏 冷捷敏 馮佩明
    主要審查人：涂光備 薛長立 王宗存 張洪雁 施紅平 李兆堅 葉鳴 孫志華 萬桐良

1 總則

1.0.1 為了使?jié)崈魪S房設計符合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，做到技術先進、經(jīng)濟適用、安全可靠，確保潔凈廠房設計質量，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設計。
1.0.3 潔凈廠房設計應是施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行的基礎。
1.0.4 潔凈廠房設計除應符合本規(guī)范外，尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。

2 術語

2.0.1 潔凈室 clean room
    空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
    空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動式潔凈小室 mobile clean booth
    可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
    人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
    物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 particle size
    給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應量相當?shù)那蛐误w直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particle
    用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
    具有當量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 microparticle
    具有當量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
    粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
    單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
    以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air flow pattern
    對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設計。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
    通過潔凈室(區(qū))整個斷面的風速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional flow
    與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional flow
    與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional flow
    送入潔凈室(區(qū))的送風以誘導方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。
2.0.18 混合流 mixed airflow
    單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
    除工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m～1.5m的區(qū)域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
    利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
    設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
2.0.22 傳遞窗 pass box
    在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
    能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
    為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態(tài) as-built
    設施已經(jīng)建成，其服務動力公用設施區(qū)接通并運行，但無生產(chǎn)設備、材料及人員的狀態(tài)。
2.0.26 靜態(tài) at-rest
    設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員的狀態(tài)。
2.0.27 動態(tài) operational
    設施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。
2.0.28 已裝過濾器檢漏 installed filter system leakage test
    為確認過濾器安裝良好、沒有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。
2.0.29 高效空氣過濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)
    在額定風量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)
    在額定風量下，對粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
    對電解質雜質含量和非電解質雜質含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環(huán)境 antistatic environment
    能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
    在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
    在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
    在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
    在材料內(nèi)層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。
2.0.37 專用消防口 fire-fight access
    消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時間 recovery time of cleanliness
    潔凈室被污染后，凈化空調系統(tǒng)開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級所需的時間。
2.0.39 生物潔凈室 biological clean room
    潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria
    懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria
    降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。
2.0.42 U描述符 U descriptor
    每立方米空氣中包括超微粒子的實測或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.43 M描述符 M descriptor
    每立方米空氣中實測的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.44 工業(yè)管道 industrial pipe
    潔凈廠房內(nèi)，除給水排水管道和凈化空調、采暖通風管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。

3 空氣潔凈度等級

3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規(guī)定：
    1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應按表3.0.1確定。

表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級

注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應超過3位。

    2 各種要求粒徑D的最大濃度限值C_n應按下式計算：

式中：C_n——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m³)。C_n是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù);
      N——空氣潔凈度等級，數(shù)字不超過9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;
      D——要求的粒徑(μm);
      0.1——常數(shù)，其量綱為μm。
    3 當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
    4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。
3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應按本規(guī)范附錄A的要求進行。
3.0.4 當潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應的微生物、化學污染物濃度限值。

4 總體設計
4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置

4.1.1 潔凈廠房位置選擇應符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術經(jīng)濟方案比較后確定：
    1 應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。
    2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。當不能遠離嚴重空氣污染源時，應位于最大頻率風向上風側，或全年最小頻率風向下風側。
    3 應布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。
4.1.3 潔凈廠房新風口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。
4.1.4 潔凈廠房周圍宜設置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。
4.1.5 潔凈廠房周圍的道路面層應選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.1.6 潔凈廠房周圍應進行綠化?？射佒膊萜?，不應種植對生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。

5 建筑
5.1 一般規(guī)定

5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當?shù)撵`活性。主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
5.1.2 潔凈廠房圍護結構的材料選型應符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。
5.1.3 潔凈廠房主體結構的耐久性應與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。
5.1.4 送、回風管和其他管線暗敷時，應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井，其形式、尺寸和構造應符合風道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構造處理，應避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。

6 空氣凈化
6.1 一般規(guī)定

6.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級應滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2 應根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調系統(tǒng)宜分開設置：
    1 運行班次或使用時間不同。
    2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質或氣體對其他工序的產(chǎn)品質量有影響。
    3 對溫、濕度控制要求差別大。
    4 凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng)。
6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應符合表6.1.4的規(guī)定。

表6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍

6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列兩項中的最大值：
    1 補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。
    2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m³。
6.1.6 潔凈區(qū)的清掃宜采用移動式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級為1級～5級的單向流潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應暗敷，吸塵口應加蓋封堵。
6.1.7 凈化空調系統(tǒng)設計對維護管理的要求應符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

7 給水排水
7.1 一般規(guī)定

7.1.1 潔凈廠房內(nèi)的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)，也可埋地敷設。潔凈室內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關的管道不宜穿過。
7.1.2 管道外表面可能結露時，應采取防護措施。防結露層外表面應光滑，易于清洗，并不得對潔凈室造成污染。
7.1.3 管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時應設套管，管道和套管之間應采取可靠的密封措施。無法設置套管的部位也應采取有效的密封措施。

7.2 給水

7.2.1 潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應符合生產(chǎn)、生活和消防等各項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，并應分別設置。管道的設計應留有余量，以適應工藝變動。
7.2.2 水質要求較高的純水供水管道應采用循環(huán)供水方式，并應符合下列規(guī)定：
    1 循環(huán)附加水量應為使用水量的30%～100%。
    2 干管流速應為1.5m/s～3m/s。
    3 不循環(huán)的支管長度應盡量短，其長度不應大于6倍管徑。
    4 供水干管上應設有清洗口。
    5 管道系統(tǒng)各組成部分應密封，不得有滲氣現(xiàn)象。
7.2.3 管材選擇應符合下列規(guī)定：
    1 純水管道的管材應符合生產(chǎn)工藝對水質的要求，可選擇不銹鋼管或工程塑料管。
    2 工藝設備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用熱鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管等。
    3 管道配件應采用與管道相應的材料。
7.2.4 循環(huán)冷卻水管道應預留清洗口。
7.2.5 潔凈廠房周圍應設置灑水設施。

7.3 排水

7.3.1 排水系統(tǒng)應符合工藝設備排出的廢水性質、濃度和水量等要求。有害廢水應經(jīng)廢水處理，達到國家排放標準后排出。
7.3.2 潔凈室內(nèi)的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必須在其排出口以下部位設水封裝置，排水系統(tǒng)應設有完善的透氣裝置。
7.3.3 潔凈室內(nèi)地漏等排水設施的設置應符合下列規(guī)定：
    1 空氣潔凈度等級嚴于6級的潔凈室內(nèi)不應設地漏。
    2 6級潔凈室內(nèi)不宜設地漏，如必須設置時，應采用專用地漏。
    3 空氣潔凈度等級等于或嚴于7級的潔凈室內(nèi)不宜設排水溝。
    4 空氣潔凈度等級等于或嚴于7級的潔凈室內(nèi)不應穿過排水立管，其他潔凈室內(nèi)穿過排水立管時不應設檢查口。
7.3.4 潔凈廠房內(nèi)應采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設備、管道、管架及其附件。
7.3.5 潔凈廠房宜設置消防排水設施。

7.4 消防給水和滅火設備

7.4.1 潔凈廠房必須設置消防給水設施，消防給水設施設置設計應根據(jù)生產(chǎn)的火災危險性、建筑物耐火等級以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2 潔凈廠房的消防給水和固定滅火設備的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。
7.4.3 潔凈室的生產(chǎn)層及可通行的上、下技術夾層應設置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不應小于10L/s，同時使用水槍數(shù)不應少于2只，水槍充實水柱長度不應小于10m，每只水槍的出水量應按不小于5L/s計算。
7.4.4 潔凈廠房內(nèi)各場所必須配置滅火器，配置滅火器設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑滅火器配置設計規(guī)范》GB 50140的有關規(guī)定。
7.4.5 潔凈廠房內(nèi)設有貴重設備、儀器的房間設置固定滅火設施時，除應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定外，還應符合下列規(guī)定：
    1 當設置自動噴水滅火系統(tǒng)時，宜采用預作用式自動噴水滅火系統(tǒng)。
    2 當設置氣體滅火系統(tǒng)時，不應采用鹵代烷1211以及能導致人員窒息和對保護對象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。

8 工業(yè)管道
8.1 一般規(guī)定

8.1.1 潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：
    1 潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間。
    2 干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內(nèi)。
    3 易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。
    4 當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。
8.1.2 潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB 50316的有關規(guī)定。
8.1.3 工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：
    1 應按輸送介質的物化性質，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。
    2 在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短。
    3 應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
    4 管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。
8.1.4 工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃氣體管道、氧氣管道的末端或最高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨、防雜物侵入的措施。
8.1.6 氣體凈化裝置的選擇和配置應符合氣源和生產(chǎn)工藝對氣體純度的要求。氣體終端凈化裝置宜設在鄰近用氣點處。
8.1.7 氣體過濾器的選擇和配置應符合生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求。高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。
8.1.8 潔凈廠房內(nèi)、生產(chǎn)類別為現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的甲、乙類氣體、液體入口室或分配室的設置應符合下列規(guī)定：
    1 當毗連布置時，應設在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處，并應與相鄰房間采用耐火極限大于3.0h的隔墻分隔。
    2 應有良好的通風。
    3 泄壓設施和電氣防爆應按現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016、《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定執(zhí)行。

8.2 管道材料和閥門

8.2.1 工業(yè)管道材料和閥門應根據(jù)所輸送物料的物化性質和使用工況選用，并應滿足生產(chǎn)工藝的要求和使用特點，經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。
8.2.2 高純氣體管道和閥門的選用應符合生產(chǎn)工藝的要求，并應符合下列規(guī)定：
    1 當氣體純度大于或等于99.999%，露點低于-76℃時，應采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
    2 當氣體純度大于或等于99.99%，露點低于-60℃時，應采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。
8.2.3 當干燥壓縮空氣露點低于-70℃時，應采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管;當露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4 閥門材質宜與相連接的管道材質相適應。

8.3 管道連接

8.3.1 工業(yè)管道的連接應符合下列規(guī)定：
    1 管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。
    2 不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁無斑痕的對接焊。
8.3.2 管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。
8.3.3 管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規(guī)定：
    1 螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據(jù)輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。
    2 高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。
8.3.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環(huán)境的露點溫度。保溫層外表面應采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。

8.4 安全技術

8.4.1 下列部位應設可燃氣體報警裝置和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機連鎖：
    1 生產(chǎn)類別為甲類的氣體、液體入口室或分配室。
    2 管廊，上、下技術夾層，技術夾道內(nèi)有可燃氣體的易積聚處。
    3 潔凈室內(nèi)使用可燃氣體處。
8.4.2 可燃氣體管道應采取下列安全技術措施：
    1 接至用氣設備的支管宜設置阻火器。
    2 引至室外的放散管應設置阻火器，并應設置防雷保護設施。
    3 應設導除靜電的接地設施。
8.4.3 氧氣管道應采取下列安全技術措施：
    1 管道及其閥門、附件應經(jīng)嚴格脫脂處理。
    2 應設導除靜電的接地設施。
8.4.4 工業(yè)管道應按不同介質設明顯的標識。
8.4.5 各種氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內(nèi)，應采取不積塵和易于清潔的措施。

9 電氣
9.1 配電

9.1.1 潔凈廠房低壓配電設計應采用220/380V。帶電導體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。
9.1.2 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求應按現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50052的有關規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設備應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電，有特殊要求的工作電源宜設置不間斷電源(UPS)。凈化空調系統(tǒng)用電負荷、照明負荷應由變電所專線供電。
9.1.3 潔凈廠房消防用電設備的供配電設計應按現(xiàn)行國家標準《建筑防火設計規(guī)范》GB 50016有關規(guī)定執(zhí)行。
9.1.4 電源進線應設置切斷裝置，并宜設在潔凈區(qū)外便于管理的地點。
9.1.5 潔凈室內(nèi)的配電設備應選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設備，不宜設置大型落地安裝的配電設備。
9.1.6 潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導管應采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應有可靠的密封措施。

9.2 照明

9.2.1 潔凈室內(nèi)照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設計要求時，可采用其他形式光源。
9.2.2 潔凈室內(nèi)一般照明燈具應為吸頂明裝。當燈具嵌入頂棚暗裝時，安裝縫隙應有可靠的密封措施。潔凈室應采用潔凈室專用燈具。
9.2.3 無采光窗的潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)用房間一般照明的照度標準值宜為200lx～500lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150lx～300lx。
9.2.4 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應小于0.7。
9.2.5 潔凈廠房內(nèi)備用照明的設置應符合下列規(guī)定：
    1 潔凈廠房內(nèi)應設置備用照明。
    2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
    3 備用照明應滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
9.2.6 潔凈廠房內(nèi)應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處應按現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定設置疏散標志。在專用消防口處應設置疏散標志。

9.2.7 潔凈廠房中有爆炸危險的房間的照明燈具和電氣線路的設計，應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定。

9.3 通信

9.3.1 潔凈廠房內(nèi)應設置與廠房內(nèi)、外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)區(qū)與其他工段的聯(lián)系宜設生產(chǎn)對講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3 潔凈廠房的生產(chǎn)層、技術夾層、機房、站房等均應設置火災報警探測器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應設置手動火災報警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應設置消防值班室或控制室，并不應設在潔凈區(qū)內(nèi)。消防值班室應設置消防專用電話總機。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設備及線路連接應可靠?？刂圃O備的控制及顯示功能應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火災報警應進行核實，并應進行下列消防聯(lián)動控制：
    1 應啟動室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號。除自動控制外，還應在消防控制室設置手動直接控制裝置。
    2 應關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的空調循環(huán)風機、排風機及新風機，并應接收其反饋信號。
    3 應關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門。
    4 應控制備用應急照明燈和疏散標志燈燃亮。
    5 在消防控制室或低壓配電室，應手動切斷有關部位的非消防電源。
    6 應啟動火災應急擴音機，進行人工或自動播音。
    7 應控制電梯降至首層，并接收其反饋信號。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體、液體的貯存和使用場所及入口室或分配室應設可燃氣體探測器。有毒氣體、液體的貯存和使用場所應設氣體檢測器。報警信號應聯(lián)動啟動或手動啟動相應的事故排風機，并應將報警信號送至消防控制室。

9.4 自動控制

9.4.1 潔凈廠房宜設置凈化空調系統(tǒng)等的自動監(jiān)控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調系統(tǒng)宜選用變頻調速控制的風機。
9.4.3 凈化空調系統(tǒng)的電加熱器應設置無風、超溫斷電保護裝置。當采用電加濕器時，應設置無水保護裝置。

9.5 靜電防護及接地

9.5.1 潔凈廠房應根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護措施。
9.5.2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的防靜電地面，其性能應符合下列規(guī)定：
    1 地面的面層應具有導電性能，并應保持長時間性能穩(wěn)定。
    2 地面的面層應采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應為1.0×10⁵Ω/□～1.0×10¹²Ω/□或體積電阻率為1.0×10⁴Ω·cm～1.0×10¹¹Ω·cm。
    3 地面應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻值應為1.0×10⁵Ω～1.0×10⁹Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調系統(tǒng)應采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險場所的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定。
9.5.5 防靜電接地系統(tǒng)應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應設置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。
    在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω。
9.5.6 潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設計均應遵循等電位聯(lián)結的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。
9.5.7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω：選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB 50057的有關規(guī)定。