電子集成電路是比較常見(jiàn)的一種電子產(chǎn)品，這種產(chǎn)品也是需要在無(wú)塵車(chē)間進(jìn)行生產(chǎn)的。那么如何設(shè)計(jì)建設(shè)電子集成電路無(wú)塵車(chē)間的呢?隨合潔電子凈化工程公司一起來(lái)了解下吧!

　　集成電路無(wú)塵車(chē)間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

　　無(wú)塵車(chē)間的建造，除考慮實(shí)用性及可靠性外， 強(qiáng)調(diào)靈活性以適應(yīng)集成電路更新?lián)Q代快的要求，使原有無(wú)塵車(chē)間能方便的迅速的按生產(chǎn)要求進(jìn)行調(diào)整及改造。FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

　　FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超高效過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。

　　集成電路制造對(duì)無(wú)塵車(chē)間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。另外，集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。

　　好的潔凈車(chē)間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。FFU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本低，潔凈度安全性高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。

　　集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上，因此節(jié)能安全的潔凈室設(shè)計(jì)和各種熱能回收設(shè)計(jì)將是未來(lái)的發(fā)展方向。主流大廠已經(jīng)進(jìn)入了納米時(shí)代，集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為先進(jìn)制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。

　　以上就是本篇文章全部講解，想必您讀到這里，一定對(duì)如何設(shè)計(jì)建設(shè)電子集成電路無(wú)塵車(chē)間?有了一定的認(rèn)識(shí)。如您想了解更多關(guān)于電子潔凈車(chē)間改造建設(shè)，歡迎您持續(xù)關(guān)注我們合潔電子凈化工程的網(wǎng)站，我們會(huì)為您持續(xù)講解潔凈工程施工流程，介紹潔凈工程各項(xiàng)要求以及解讀各類(lèi)電子潔凈車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)。