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        合景集團發(fā)布

        首頁 新聞中心 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 半導(dǎo)體潔凈車間解決方案-凈化工程公司

        半導(dǎo)體潔凈車間解決方案-凈化工程公司

        2022-04-20
        共有7017家企業(yè)看過

        一家高標(biāo)準(zhǔn)的凈化工程公司,在半導(dǎo)體潔凈車間行業(yè),所展現(xiàn)的解決方案是怎樣呢?生產(chǎn)工藝的環(huán)境中,有抗靜電、防微振、高潔凈度、恒溫恒濕、照度、廢氣廢水排放,大宗氣體和特殊氣體排放等要求,且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜,個別區(qū)域的潔凈度要求甚至達到十級的標(biāo)準(zhǔn)。


        1.潔凈度

        半導(dǎo)體凈化車間要確保高潔凈度,必須要對粉塵嚴(yán)格控制,保證粉塵只出不進,因此凈化車間要保證正壓。建議在空調(diào)機組的基礎(chǔ)上,加裝大型鼓風(fēng)機,利用鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣連續(xù)不斷地輸入車間內(nèi)。

        2.恒溫恒濕

        保持車間內(nèi)恒溫恒濕,空調(diào)機組與鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)統(tǒng)一設(shè)計搭配使用。鼓風(fēng)機與空調(diào)系統(tǒng)同開同關(guān),必須保證車間內(nèi)溫濕度的穩(wěn)定。

        3.氣流走向

        半導(dǎo)體凈化車間內(nèi)設(shè)計的空氣流動方向大部分以由上往下為主,因此,在人物流及工藝流程設(shè)計時要尤其注意,提前規(guī)劃空間設(shè)計,避免機械設(shè)備擺放突兀,將塵埃細(xì)菌等在凈化車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

        4.建材使用

        所有建材均要求平順光滑,以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為宜,從內(nèi)部斷絕靜電的停留。

        5.風(fēng)淋及除塵

        除了科學(xué)設(shè)計人物流通道,盡量降低人物流移動對氣流及粉塵的影響,所有人物流進出潔凈車間,人必須穿配套防塵服,經(jīng)風(fēng)淋室除塵,物體非必要嚴(yán)禁進入潔凈車間內(nèi),日常通過物體必須經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵除掉。

        6.內(nèi)水使用

        半導(dǎo)體凈化車間內(nèi)使用且只限于去離子水。去離子水可以有效防止水中粉粒污染晶圓,還可以防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,影響半導(dǎo)體組件的工作特性。

        7.氣源使用

        半導(dǎo)體凈化車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。


        技術(shù)的發(fā)展真的可以用日新月異來形容企業(yè)客戶在挑選凈化工程公司時,有哪些注意事項?具體可分為5條注意事項即:了解主體業(yè)務(wù)、查看公司資質(zhì),查看工商信息、實地勘察、貨比三家。


        潔凈車間

        EPC無塵凈化工程案例

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